光電產品製造過程（chéng）中VOCs的排放

今天小編繼續為您介紹在光電產品製造行業（yè）中（zhōng），產生廢氣汙染的主要有五類（lèi）產品的製造過程:半導體集成電路、TFT-LCD、LED、印製電路（lù）板(PCB)、電子（zǐ）終端產品。這幾個（gè）也是我們廢氣（qì）處理經常麵（miàn）對的（de）。

①半導體集成（chéng）電路製造過程中VOCs的排放半導體製造工（gōng）藝中VOCs主要來源於光刻（kè）、顯影工序，在這些工序中要用有機溶液(如異（yì）丙醇（chún）)對晶片（piàn）表（biǎo）麵進行清洗，其揮發產生的廢氣是有機廢（fèi）氣的來（lái）源之一。同時，在光（guāng）刻過程中使用的光阻劑(光刻（kè）膠)中含盡有易（yì）揮發的有（yǒu）機溶劑，如乙酸丁酯等，在晶片處理過程中產（chǎn）生的有機廢氣（qì）也要揮發到大術氣中。
   ②TFT-LCD製造過（guò）程中VOCs的排放包括檢査和測試在內，TFT-LCD的製造生產製工藝可達到100多道工（gōng）序，生產過程中使用多種化學有機溶劑和特殊氣體，產生的VOCc多量大，組分複雜。TFT液晶麵板生產排放VOCs汙染（rǎn）物（wù）的工序主要集中在陣列工程和彩膜時工程兩大部分。陣列工程中（zhōng）的光刻(塗膠、曝光和顯影)，以及彩膜工程中的黑色矩BM膜（mó）製（zhì）造、彩色矩陣膜形（xíng）成（chéng）(紅、綠、藍，RGB)、保護膜（mó）生成、MVA膜、PS( Photo Spacer)膜生成是產（chǎn）生（shēng）VOCs的主要產生少量VOCs。TFT-LCD的製造過程中產生的VOCs主要是（shì）以異丙醇為主，其次依序是（shì）丙（bǐng）酮（tóng）、單甲基（jī）醚（mí）丙二醇、單甲基醚丙二（èr）醇乙酸（suān）酯，這（zhè）四（sì）種成分占了全部VOCs量的90％以上。

③LED電子組件製（zhì）造過程中VOCs的（de）排放（fàng）LED電子組件（jiàn）生產產生的VOCs汙染物主要來（lái）源於基片處理和光刻，LED生產過程中產生VOCs的種類主要有三氯乙烯、丙二醇（chún）醚酯、異丙醇、丙酮、丁酮等。

④印製電路板(PCB)製造過程（chéng）中（zhōng）VOCs的排放在單麵、雙麵和多麵（miàn）印製電路板製（zhì）作工藝中，產生的（de）VOCs工藝環節相（xiàng）對較集中，主要來源於貼膜、烘幹、江、印刷等工子（zǐ），VOCs排放種類主要有甲醛、醇類(乙醇、異（yì）丙醇、丁醇（chún）、丙醇)、酮類(丁酮)、酯類劑的貯存過程中也會有部分乙酸（suān）乙VOCs產生和排放。

⑤電（diàn）子終端產品製造過程中VOCs的排（pái）放在電子終端產品製造中，VOCs的主要來源包括電路板清洗劑有機廢氣(使用（yòng）有機溶劑型清（qīng）洗劑)、電（diàn）路板三（sān）防噴漆廢氣、機売(機箱)噴漆（qī）廢氣、機（jī）殼（ké）注塑廢氣。這些廢氣均來自工位上的局部排風係統，特點是排風量大、濃度低。

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