半導體行業VOCs廢氣處理解決（jué）方案

亚洲国产成人精品久久久国产成人一区二区三区综合区精品久久久中文字幕一区（hé）小編今天為大（dà）家分享半導體行業VOCs廢氣處理的解決方案。

半導體（tǐ）行業中（zhōng）使用的清（qīng）洗劑、顯影劑（jì）、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。 在工藝過程中，這些有機溶劑大部（bù）分通過揮發（fā）成為廢氣排放。

     目前（qián），針對這種氣體排放，一 般采用吸附、焚燒（shāo）或兩者相結合（hé）的處理方法。 吸附是利用多（duō）孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其（qí）中所含的一種或多種組分吸附於固體（tǐ） 表麵上，達到分離的目的。吸附劑選擇（zé）性高，能分開其（qí）他（tā）過程難以分（fèn）開的混合物，有效地清 除（或回收）濃度很低的有害物質，淨化效率高，設備簡單，操作方便，且能實現自動控製。

但固體吸附劑（jì）的吸附容量（liàng）小，需要大量的吸附劑，設備（bèi）龐大，且吸附後吸附劑（jì）需要再生處理，是吸附處理的主要缺點。半導體生產場所揮發出來的有機廢（fèi）氣通（tōng）過局部排（pái）風罩（zhào）收集，經管道送至吸附淨化係統（tǒng）。一般采用活性炭作為吸附劑。因為活性（xìng）炭是非極性吸附劑，對廢氣（qì）中水蒸氣的靈敏度不（bú）高，且價格便宜。 焚燒的方法（fǎ）也（yě）廣泛（fàn）用於半（bàn）導體行業的各（gè）種（zhǒng）有機廢氣處理，通過熱氧化將（jiāng）有機物（wù）轉化為 CO2 和水。同時，焚燒對處理穩定流量和濃度（dù）的廢氣也是一種很好的（de）方法。在熱氧化中，有機廢（fèi）氣流經過加熱，氣相中的有機物（wù）被（bèi）氧化。為（wéi）節省燃料使用，通常還使用熱交換器，回收焚燒產生的熱量（liàng）對進口氣體進行預熱。對於處理大流量、低濃度的氣體，通常都要采用這種（zhǒng）方（fāng）法。 由於半導體行業（yè）廢氣焚燒會（huì）產生SiO2，且（qiě）SiO2會使催化劑鈍（dùn）化，因此半導體行（háng）業中很少（shǎo）采用接觸氧化的方法。

一些（xiē）半導體（tǐ）生產廠也使用旋轉濃縮係統富集有機廢氣，如沸石濃縮轉輪。因為（wéi）半（bàn）導體工藝過程中有機廢氣具有排放（fàng）流（liú）量大（通常大於 11039 m3 /小時）和濃度低（通常小於 25ppmv） 的特（tè）點，使（shǐ）用其它的處理技（jì）術難（nán）以達（dá）到令人滿意的處理效率。沸石濃縮（suō）轉輪使用（yòng）內（nèi）帶吸收物（wù）質的（de）旋轉輪，其中的吸收物質部分（fèn）曝露（lù）於廢氣流中。轉輪吸收廢氣中的揮發性（xìng）汙染物，並使（shǐ）用蒸汽或熱將其脫附。脫（tuō）附的氣流中富集了較高濃度的揮發物，這種低流（liú）量（liàng）、高濃度的氣流能很好地被氧化。旋轉濃縮係統用於（yú）半（bàn）導體行業的一個缺點是它對甲醇親和力（lì）較差，去除率僅為 40-60％。

     總（zǒng）而言之，廢氣處理方麵，半導體（tǐ）行業酸、堿廢氣一般采用相應的堿液吸收和酸液吸收進行處理， 工藝方法（fǎ）已（yǐ）非（fēi）常成熟，隻要適當優化相關工藝參數，能夠滿足本標準的要求，需（xū）要關注的有 機廢（fèi）氣的處理。目前（qián）處理有機廢氣的工藝有吸附法、吸收（shōu）法、直接燃燒法、催化（huà）燃燒法、冷凝法等，吸附法采用（yòng）活性炭直接吸附，淨化效果好，但是運營成本會（huì）很高；吸收（shōu）法適合於溫度低、中高濃度的（de）廢（fèi）氣；直接燃燒法適合於高（gāo）濃度、小風量廢氣治理；冷凝法適用（yòng）於成分（fèn）相 對單一、濃度高、且有一定回（huí）收價值的有機廢氣。對於半導體（tǐ）行業低濃度、大風量、成分複雜的有機廢氣，吸附法（fǎ）、吸收法、燃燒法、冷凝法均不適用，比較適用的（de）是吸附——催化燃燒法。目前省內一些大型半導體企業已采用沸石轉輪濃縮後燃燒，該方法（fǎ）適用於（yú）大風量、低濃度、常溫的有機廢氣處理，淨化效率達到90％以上（shàng），濃縮比達20﹕1，運行費（fèi）用較低，設備處理風量大，占地麵積小，不產生二次汙染，可持續脫附並處理汙染物（wù）。根據企業實際運 行（háng）情況，有機廢氣進氣濃度在（zài）200mg/m3以上時，處理效率達到95%；200mg/m3以下時處理 後濃度控製在20mg/m3，可保證廢氣達標排放。

通過小編以上的介紹，您（nín）是否對半（bàn）導體行業VOCs處理有了更深入（rù）的認識了呢，希望能幫助到您。如您想（xiǎng）了解更多（duō）的廢氣處理相關知識，歡迎您關注亚洲国产成人精品久久久国产成人一区二区三区综合区精品久久久中文字幕一区環保。

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