半（bàn）導體廢氣處理
一、半導廢氣處理成份（fèn）
半導體行業廢氣主要成分為有機廢（fèi）氣和酸堿廢（fèi）氣兩類。有機類成分：非甲（jiǎ）烷總烴、氮氧化（huà）物、二氧化硫等，酸堿類成分：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
二、行業排放標準
三（sān）、半導體廢（fèi）氣處（chù）理方法
一般半導體行業針對廢氣處理的解決方案如下：
(1)預處（chù）理階（jiē）段：采用噴淋塔先對廢進行預處（chù）理，去除粉塵以及易（yì）溶於水的有害氣體。
(2)主要處理階段：在此階（jiē）段，比較常見而有效方法有（yǒu）：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。
由於每家企業具體產生的廢氣成分（fèn）、風量大小、廢氣（qì）濃度不同，所以采用的半（bàn）導體廢氣處理方法也會不（bú）同或者需要多種方法結合使（shǐ）用，具體處理方案可以谘詢我們，我們將有工程師一對一（yī）為您（nín）定製廢氣（qì）處（chù）理方案。
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