電子廠廢氣處理方法——低溫等離子技術

電子廠涉及到的行業（yè）很（hěn）多，不同行業（yè）在工藝上有一定差異，產生的廢氣種（zhǒng）類也有（yǒu）一定的差異，今天就從半導體行業（yè）入手為（wéi）大家介（jiè）紹（shào）電子廠廢氣（qì）處理。電子廠半導體（tǐ）廢氣的處理（lǐ）主要針對半導體行業有機廢氣和毒性氣體的治理，我（wǒ）們嚐試（shì）使用低溫等離子廢氣處（chù）理技術。半導體行業產（chǎn）生的有機廢氣，主要可（kě）以分為，半導體製（zhì）造工藝產生的有機廢氣，和半（bàn）導（dǎo）體封裝工藝產生的有機廢（fèi）氣。

1、廠家（jiā）處理有機廢氣和毒氣的處理方法

現在，半導體（tǐ）製造過程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)通（tōng）常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化（huà）等方法進行處理。

2、針對電子廠廢氣處理半導體行業有機廢氣和（hé）毒性氣體的治理，低溫等離子廢氣處理（lǐ）技術的淨化原理是：

將普通（tōng）的220V/380V交流電通過（guò）變壓器，變頻器轉換為高頻高壓的電壓，產生足以擊穿氣體的電壓，釋放出（chū）高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的（de）氣體分子之（zhī）間的化學鍵，斷（duàn）開這些化學鍵從而產生了各（gè）種碳原子、氧原子、氫原子（zǐ）、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體（tǐ）中的氧原子和（hé）碳原子（zǐ）結（jié）合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結合形成水分子，最終產生排放到大氣中的氣體為無汙染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

3、電子廠廢氣處（chù）理低溫等離子廢（fèi）氣（qì）處理技術具有（yǒu）以下（xià）優點：

• 放（fàng）電產生的（de）低（dī）溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡（è）臭氣體分（fèn）子作用。
• 反應快，不受氣速限製。
• 采用防腐蝕（shí）材料。
• 隻需用電，操作極為簡（jiǎn）單。
• 設備啟動（dòng）、停止十分迅速，隨（suí）用隨開，常溫常壓下即能使（shǐ）用。
• 氣阻小，適用於（yú）大風量（liàng）的廢氣處理。

4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術應用領域：集成電路生產企業（yè）、分立器件生產企業、光電組件生（shēng）產企業。

5、半導體企業廢氣排放特征分析

半導體行業廢（fèi）氣排（pái）放具有排氣量大、排放濃度小（xiǎo）的特點。

6、半導體行業有（yǒu）機廢氣和毒氣的來源

• 半導體製造工藝產生的揮發性有機廢氣（qì），主要來（lái）源於光刻、顯影（yǐng）、刻蝕及擴散等工序
• 與半導體製造工（gōng）藝（yì）相比，半（bàn）導體（tǐ）封裝工（gōng）藝產生的有機廢氣較為簡單，主要為晶粒粘貼（tiē）、封膠後烘烤（kǎo）過程產生的烘烤廢氣。
• 含毒氣性廢氣，其來（lái）源為化學氣相（xiàng）沉積、幹蝕刻機、擴散、離子布值機及磊晶等製程時所產生。主要成分是磷化氫等（děng）。

電子廠廢氣處理半導體低溫等離子技（jì）術，在實際設計中，需要加洗滌塔作為預處理裝置，來（lái）攔截粉塵和易（yì）溶性的（de）酸堿（jiǎn）廢氣。今天就為大家（jiā）介紹到這裏了，如果（guǒ）您想（xiǎng）要了解詳細的設計方案，可以打電話向我們谘詢：17306171723。